[打造光學系統]第二集:同軸照明的關鍵—分光鏡
第一集帶大家認識了鏡頭的光圈,文章回顧:[打造光學系統]第一集: 認識鏡頭的光圈,這次我們將介紹分光鏡。
在設計線掃描系統時,最常使用的架構有兩種 : 傾斜架構與同軸架構。
其中分光鏡的功能就是讓部分比例的光穿透、部分比例的光反射,所以採用同軸架構的最大的問題是光源會大幅耗損.
因此大部分設客戶通常使用傾斜架構,因為可以省去分光鏡,最大化光源利用率並消除分光鏡品質對成像的影響,但傾斜架構在某些狀況下並不適合,例如樣品部分材質是透明或是表面結構高度較高,其原因為當光源傾斜時,自然產生的影子有可能會影響到檢測軟體的判斷,另外還需要考慮到「Scheimpflug imaging」,在這種限制下傾斜架構通常只適用在4線以內的線掃描相機,線數量更多的TDI相機就無法採用傾斜架設,只能垂直架設,也就是只能採用同軸方案。
當使用同軸架構時,多數客戶只注意到光源亮度大幅耗損問題,而忽略了分光鏡選擇問題,我們常用的分光鏡有鍍膜玻璃或是稜鏡,其中又以鍍膜玻璃最常見。
鍍膜玻璃分光鏡相較稜鏡分光鏡不但重量較輕、價格便宜且大尺寸選擇較多,所以很多同軸光源產品配備的分光鏡,都是採用鍍膜玻璃分光鏡,問題是鍍膜玻璃的分光鏡較常碰到光束偏移問題,當系統的光學解析度高到一定程度時,成像上產生鬼影(ghost image)的機率就越高,當分光鏡玻璃越薄,鬼影問題就越輕微,但也不是分光鏡玻璃越薄越好,當玻璃太薄時容易產生破裂或變形,此時建議選擇薄膜分光鏡(Pellicle Beam splitter),它是一種非常薄的硝化纖維薄膜,厚度大約為2μm,雖然不會產生鬼影,但因為它是薄膜高張力披覆在框架上,故使用上限制較多,例如particles掉在上面無法清潔、破損率高、環境溫、溼度不能有劇烈變化…所以只適合在無塵室使用。
鑑於以上優缺點分析,我們建議客戶優先選擇有分光鏡模組可以選配的鏡頭,避免使用鍍膜玻璃或薄膜分光鏡設計同軸光源模組,當鏡頭搭配的都是稜鏡分光鏡時,除了不會產生鬼影外,也不會像薄膜分光鏡那麼脆弱,且由於是搭配鏡頭使用,鏡頭原廠也會特別針對MTF表現進行優化,因此打造一個高解析度的光學系統,最高效率的做法就是選擇鏡頭原廠的稜鏡分光鏡模組。